金属切削加工过程非常复杂，加工后形成的表面粗糙度与工件的材料、刀具的几何形状、润滑方法以及选用的切削深度密切相关,表面粗糙度仪可以用来测量加工后形成的表面粗糙度。剪切、滑移和断裂被认为是影响切屑形成的几个主要因素。超精密切削时只要有切屑产生，就可以把该过程模型化为材料沿着与水平面倾斜一定角度的平面被刀具剪切的过程，在已加工表面上形成的峰、谷高度随刀具刃口锋锐轮廓的变化而变化。
最小切削厚度的存在使小于一定切削深度的工件材料不能被切除。通常大于进给量的一半，所以不完整切屑的形成只能使表面粗糙度的值增加。对已加工表面粗糙度进行测量时我们往往会发现一种奇怪的现象，表面粗糙度的测量值有时很小，什么原因造成的呢?我们可用材料变形的观点对这个问题作出合理解释。
超精密切削的主要目的是要切下一层极薄的金属层，与普通切削相比，刀具前刀面参与切削部分面积减小，而刀刃附近区域却要承担大部分的切削工作，这对所选择的刀具材料提出了更高的要求。另外，背吃刀量从几微米减小到一微米以下时，车刀的尖端会受到很大的应力作用，从而在单位面积上会产生很大的热量，使刀具尖端局部区域达到极高的温度。